WIPO专利WO1990013790A1 Positioning table

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专利摘要:

公开号:WO1990013790A1
申请号:PCT/JP1990/000543
申请日:1990-04-26
公开日:1990-11-15
发明作者:Satoshi Noguchi
申请人:Nissha Printing Co., Ltd.；
IPC主号:G12B5-00

专利说明:
[0001] 明钿畲
[0002] 発明の名称
[0003] 位 S決めテーブル
[0004] 技術分野—
[0005] 本発明は、法晶 E向胰ゃフォトレジスト胰、法晶封入用シールまたは半導体素子の艳縁皮廣などの種々の機能性薄瘼をガラス基板などのワーク表面に印刷 ·形成するために用いられる薄腠形成装 gなどの機能屢形成装置において、ワークを所定位 sに固定する小型軽量の位決めテーブルに閧する。
[0006] 背景技術
[0007] 従来、この種の位置決めテーブルとしては種々の構造のものが考案されている。例えば、ガラス基板などのワークを所定位 gに固定するため、ワークを縱方向 ·横方向. ·回転釉万问に移勐させるため. 基台上に、 X方向に移動可能な X方向テーブル、 γ方向に移動可能な Y方向テーブル、 0方向に移動可能な 0方向テーブルの 3屑のテ一ブルが赘層されたものがある。この位置決めテーブルは、上記基台上に、上記 0方向に 0方向テーブルを移動させるため、サーキュラーガイドとパルスモータまたはサーボモータが備えられる。一方、上記 0方向テーブルには、上記 Y方向テーブルを Y方向に移動させるため、直線ガイドとボールネジを介してパルスモータまたはサーボモータを備える。そして、.上記 Y方向テーブルには、上記 X方向テーブルを X方向に移動させるため、直線ガイドとポールネジを介してパルスモータまたはサーボモータとも備える。よって、各も —タを駆勖することにより各ガイドに洽つてテーブルを移動させて、夫々の方向の調整を行うようにしている。
[0008] しかしながら、上記構造の位 g決めテーブルでは、基台を含めると 4層構造よりなり、全体として大きな厚み寸法を有することになりかつ重いものとなる一方、ほとんどのテーブルにはガイドとモー夕とが £gされるので全体として構造が複雜なものとなっている。従って、上記位置決めテーブルを薄膜形成装置に組み込んで移動式のテーブルとして使用する場合には、装翬全体がいたずらに大型化し、テーブル自体を移動するとき及びワークの位置決めのときに機敏な動作.を行わせることができないといった種々の問題がある。
[0009] これらの問題を解决するものとして、 1つのテーブルに、パルスモータまたはサーポモータ等.の駆動装を備え、該駆励装置の駆励により動する 3つの基準ピンを L字を構成するように配置し、これらの基準ビンにワークを接触させるようにワーク押圧装爨（ブッシヤー）でワークを押し付け、各基準ピンを移動させることにより、ワークの夫々の方向の位翬绸整を行えるようにしたものが考えられる o
[0010] しかしながら、上記構造のものでは、ワークを 0方向に移動させる場合、ワークの回転中心が固定されず、各基準ピンを夫々移動させる毎にワークの回転中心が異なり、従って、ワークの位置調整をデータ化して行う場合、位置決め時間が長くなるといった問題がある 0 従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあつ.て、ヮ一クの位 S決め作業を短時間で行うことができ、かつ、小型で軽量で構造も簡単な位 S決めテーブルを提供することにある。
[0011] 発明の開示
[0012] 上記目的を達成するために.、本発明は、ワークの位 g決めに使用する 3つの基準郁材を常に所定の轴回りに一体的に回転できるように構成している。すなわち、ワークを載釁するワーク載 gテーブルと、該ワーク載 gテーブルの下方に X方向に移動可能にま持されたベスプレートと、該ベースプレートを X方向に移動させる第 1駆動装置と、上記ワーク載置テーブルの上記ワークに夫々当接可能な第 1基隼郎材と第 2基準郞材と第 3基準邳材と、上記第 1基準部材と上記第 2基準茚材とも斩定閭陲もあけて支持するとともに、上記第 1基準 φ材と上記第 2基準部村との £列方向と直交する方向沿いに上記第 2基準郎材とは新定藺隔をあけ上記第 3基準郎材を支持する一方、上記 Y方向及び所定の軸回りの 0方向に夫々移動可能に上記ベースブレートに取り付けられた基準郐材支持郎材と、該基準郞材支持郞材を上記 Y方向に移動させる第 2駆動装置と、上記基準却材支持郞材を上記 0方向に移動させる第 3駆動装置と、上記ワークを上記第 1基準郞材と上記第 2基準郞材と上記第 3基準郎材とに接蝕させるように付勢する付势装 gと、上記ワークに付された位髴绸整用マ"：クを検出するマーク検出手段と、上記検出手段の検出結果と、上記マークを位置させるべき所望の位 gとの間のずれ量を癍笄する演算手段と、上記演算手段の演算桔果に基づき、上記マークを上記所望の位 Sに位釁させるぺく、上記第 1 ©励装 S、上 IS第 2駆動装置及び上記第 3駆動装 gを夫々駆動 ·制御する制御手段とを備えるように構成している。
[0013] 上記構成においては、上記第 2駆励装置と上紀第 3駆動装 gは、上記 Y方向に上記基準茚材支持郎材を移動させる一対の E動機構よりなり、両方の駆動機構の駆動量を同一にして上記基準郎材支持部材を上記 Y方向に移動させる一方、上記両方の駆動機構の ®動量を異ならせることにより上記基準茚材支持郎材を上記 Θ方向に上記所定の軸回りに回転させるように構成することもできる。
[0014] また、上記構成の位決めテーブルにおいては、各基準郞材は、上記基準 Φ材支持 Φ材に対して移動弱整可能に構成することもできる。
[0015] 上き S樓成の位 g決めテーブルにおいては、上記ワークを上記ヮーク載 Sテーブルに載 Sしたのら、丄圮付势 «で上 S 3つの準材に夫々接胜するように付勢する。そして、上記検出手段で上記ヮークのマークを検出してワークの現在の位 gを検出し、この情報に基づき上記演算手段でワークの所望の位瑟と現在の位 gとのずれ量を瀵算し、涪笄拮果により上記制御手段で上記第 1 .第 2 ,第 3 S動装置を駆動制御する。すなわち、例えば、上記第 1駆動装置を 18動して、上記基準 Φ材支持郞材が支持された上記ベースプレートを X 方向沿いに移勐させ、上記ワークの X方向の位置を調整する。また、上記第 2駆動装置を S動して、上記ベースプレートに対して上記基準茚材支持部材を Y方向沿いに移動させ、上記ワークの Υ方向の位置を绸整する。さらに、上記第 3駆動装翬を駆動して、上記ベースプレートに対して上記基準郎材支持部材を方向に移動させ、上記ワークの S方向の位置を翻整する。この場合、基準 Φ材支持茚材が 0方向に移動（回転）されるときには、上記 3つの基準郞材が常に所定の軸回りに一体的に回転される。
[0016] 上記構成によれば、 3つ上記基準郎材が上超基準郎材支持郯材に支持され、かつ、所定の轴回りに一体的に 0方向に移動可能にしたので、各基準郁材を夫々 X方向または Y方向に移動させてもこれらの 3つの基準郞材は上記基準郞材支持郐材とともに一体的に各方向に移動し、かつ、ワークを方向に移動させる場合には、上記所定の轴回りに必ず回転するため、ワークの回転中心が固定され、従つて、ワークの位鬵調整をデータ化して行う場合、位匿決め時閻を短縮することができる。また、上記位釁決めテーブルは、上記ワーク載 gテーブルと上記ベースブレートとの大略 2展のテーブルより構成されるので、全体として小型で軽量で構造も簡単なものとなる。図面の簡単な説明
[0017] 本発明のこれらと他の目的と特歡は、添付された図面についての好ましい実施例に関違した次の記述から明らかになる。この図面では、
[0018] 1 第 1図は本発明の一実施例にかかる位置決めテーブルにおける要郎も示す概略斜視図、第 2図は上記位 g決めテーブルの一部靳面平面図、第 3図は上記位置決めテーブルのワーク載置テーブルとベースプレートとの関係を示す側面図、第 4図は上記実施例における X 方向のベースプレートの第 1 ¾動装置を示す側面図、第 5図は上記実施例にかかるスライド装置の断面図、第 6図は第 1駆動装置の正面図、第 7図は上 S実施例におけるベースプレートとワーク載置テ一ブルとの関係を示す側面図、第 8図は上記実施例にかかる第 2 , 第 3駆勐装置の正面図、第 9図は上記実施例にかかるスライド装置の半新面図、第 1 0図は上記実施例にかかる押圧装置の正面図、第 1 1図は各駆動装置の制御関係を示す説明図である。
[0019] 発明を実施するための最良の形態
[0020] 本発明の記述を銃ける前に、添付図面において同じ郯品については付していることに注意してください。
[0021] 以下に、本発明にかかる実施例を第 1 ~ 1 1図に基づいて詳細に鋭明する。
[0022] 本実施例にかかる位 s決めテーブルは、第 1 , 2図に示すように、長方形扳状ヮ一ク截 gテーブル 1 2の下方に長方形扳状べ一スブレ一ト 2を X方向に移動可能に SB翬し、 L字状をなすように S2列された第 1 ,第 2 ,第 3基準部材としての第 1，笫 2 ,笫 3基準ビン 5 a, 5 b, 5 cを基準郎材支持郯材すなわち基準ピン支持郎材 4に固定するとともに、該準ビン支持郎材 4が上 Eベースブレート 2に対して上記 X方向とは直交する Y方向及び所定の回転轴 Aの 0方向回りに夫々移動可能に ¾H 付けられ、 _b¾ ^ク載 Sテーブル 1 2上にヮーク.1 7 *截¾して、付勢装 gで上記ワーク 1 7を上記第 1 ，第 2 , 第 3基準ビン 5 a, 5 b, 5 cに夫々接蝕させるように付勢したのち、検出手段で上記ワーク 1 7上のマーク 1 7 a, 1 7 bを検出して、現在の位置と所望の位置との閭のずれ量を演算手段で癀算し、この癀箅锆果に基づき、制御手段の ¾動制御により、第 1 K動装 Sで上記ベースブレート 2を X方向に移動闊整し、第 2駆動装で上記基準茚材ビ郎材 4を Y方向に移動弱整し、第 3駆動装置で上記基準ピン支持 Φ材 4を 0方向に移動醑整して、ワーク 1 7を上記所望の位置に位 g決めするようにしたものである。
[0023] 上記ワーク載置テーブル 1 2は、上 £位 g決めテーブルを備える薄膜形成装 g等に対して固定され、その上面にガラス坂等のワーク 1 7が載 gされる。このワーク截爨テーブル 1 2の相対する一対の側面は上記 X方向沿いに Egされ、残りの相対す一対の側面は ± 記 Y方向沿いに記暈されている。そして、上記 X方向沿いの一側面には、第 1基準ピン 5 a及び第 2基準ピン 5 bに夫々対応する位置に第 1切欠 1 2 a及び第 2切欠 1 2 bを形成する。一方、上記 Y方向沿いの一側面には、第 3基準ピン 5 cに対応する位置に第 3切欠 1 2 c を形成する。なお、上記テーブル 1 2には上記第 1切欠 1 2 aと上記第 2切欠.1 2 bとも連锆するような大きな切欠を形成してもよい —方、切は必ずしも必要ではなく、基準ピン 5が後述するようにワーク 1 7に接蝕することができれば、切欠を上記テ一プル 1 2に形成する必要はない。ワーク載 gテーブル 1 2は、上記付勢装 gに対応する位 gにも切欠を形成する。つまり、第 1基準ビン 5 a¾ぴ第 2基準ビン 5 bに相対する側には、第 1 ブッシヤービン 3 5 a及び第 2プツシヤービン 3 5 bに夫々対応する位釁に第 4切欠 1 2 h及び第 5切欠 1 '2 iを形成する。一方、第 3基準ビン 5 cに相対する側には、第 3ブッシヤーピン 3 5 cに対応する位置に第 6切欠 1 2 jを形成する。
[0024] 上記ベースプレート 2は、第 2図に示すように、上記ワーク載匿テーブル 1 2の図中左側の下方にされ、その相対する一対の側面が上 SS X方向沿いに紀置される一方、残りの相対する一対の側面が上記 Y方向に配置されている。そして、第 3図に示すように、ヮ一ク載置テーブル 1 2の下方に一対のブラケット 1 6 . 1 6を介してスライドガイド 1を吊り支持し、このスライドガイド 1の下面に上記ベースブレート 2が X方向に対して摺動可能に吊り支持される。上記スライドガイド 1は、第 5図に示すように、上郎 l aと下 $ l b との間に、一対のガイド 1 c, 1 c間にコロ 1 dを回転自在に抉み込んだ送り郎を 2組内蔵してなる公知のスライド装置であって、上記上祁 l aを上 Eブラケット 1 6 , 1 6に固定する一方、下郎 1 bを上記ベースプレート 2に固定する。このべスブレート 2を X方向に駆動する上記第 1駆動装 Sは以下のように構成される。すなわち、第 1 , 2 , 4 , 6図に示すように、ワーク載テーブル 1 2にブラケット 1 4を介して駆動モータ（パルスモータ） 1 3を支持し、この駆動モータ 1 3の回転軸に固定されたギヤ 6にギヤ 1 1を啮合させる。このギヤ 1 1は、 X方向沿いにブラケット 4 8に支持されたマイク口メータへド 1 0の回耘轴 1 O aの後锥に固定されており、この回転轴 1 0 aの前端は上記ベースブレート 2の X方向沿いの一端の係止端 2 aに固定される。よって、上記駆動モータ 1 3の回転駆動により、ギヤ 6， 1 1を介してマイクロメータヘッド 1 0の回転轴 1 0 aを回転させながら X方向に前後動させて、ベースプレート 2 を X方向に移動させる。上記ベースブレート 2の X方向沿いの他端には、第 7図に示すように、その係止端 2 bと上記ワーク載置テーブル 1 2の下面より下方に延びた係止郎 1 2 dとの藺に圧縮パネ 1 5を介在させて、ベースプレート 2を常時 X方向の上記駆動モータ 1 3側に押圧付勢する。従って、上記ベースブレート 2は、上記圧縮パネ 1 5が圧縮する範囲内で移勐綢整される。
[0025] 上記基準ピン支持郞材 4は、大略コ字状に 5値の瑯材を組み合わせてなり、上記ベースブレート 2の上面に上記 Y方向及び回転轴 A の 0方向回りに回転可能に配 Sされる。
[0026] すなわち、上記ベースプレート 2の X方向沿いの一側邳上に、暉方体状第 3支持体 4 cも载し、この第 3支持体 4 cの X方向一端に Y方向沿いにスライド郎材 7を介して廷ぴる第 1支持体 4 aを連拮する。この第 1支持体 4 aは、上記第 3支持体 4 cに対して上記スライド $材 7により摺動し、かつ、その回転中心轴 Bの回りに回転可能に上記ベースブレート 2に取り付けられる。このスライド郎材 7 は、第 5図に示すスライト'装 Sまたは後述する第 9図に示すスライド装橐あって、スライド郞材 7を介して上記第 3支持体 4 cに対して第 1支持体 4 aが自在にスライドするようにする。また、上紀第 3支持体 4 cの X方向他端には Y方向沿いに延びる第 2支持体 4 b を固定し、該第 2支持体 4 bの側面にほ Y方向に廷ぴる直方体状第支持体 4 dも固定する。 '上記第 3支持体 4 cの上記一端の ±面でかつ上記第 1支持体 4 aの Y方向沿い中心轴上には第 1基準ピン 5 aを固定する。上記第 3支持体 4 cの上記他端の上面でかつ上記第 2支持体 4 bの Y方向沿いの中心轴上には第 2基準ピン 5 bを固定する。また、上記第 4支持体 4 dの Y方向一端には、 X方向沿いに廷びる延長 Φを形成し、該延長部の上面に第 3基準ピン 5 cを固定する。各基準ピン 5は、ワーク 1 7を位 g決めする際、基準ピン 5とヮーク 1 7とが円滑に動くようにするため、ねじ軸の頭却にベアリング 4 6も介して回転可能な钳脂製の円筒体 4 5を備えるとともに、そのねじ轴にナツトを合させてなり、該ナ *ジトも回転させてそのねじ軸の頭郎の位髴を調整でき.るものであって、上記ねじ軸の下端郎を各持体の上面にねじ込んでなる。この基準ピン 5 a, 5 b, 5 cはワーク載置テーブル 1 2の各切欠 1 2 a. 1 2 b. 1 2 c内に夫々入り込み、かつ、該テーブル 1 2の上面より上方にそのボルト頭郎が突出して、テーブル 1 2上に載置されるワーク 1 7の端耶に接蝕可能とする。上記のように各基準ピン 5を配翬することにより、上記第 1基準ビン 5 aと第 2基準ビン 5 bとを通る直瘃と、第 2基準ビン 5 bと第 3基準ビン 5 cとを通る直線とは直交をなすようになる。なお、上記第 1基準ピン 5 a、第 2基準ピン 5 bは夫々第 1基準ピン支持体 4 a、第 2基準ビン支持体 4 bの中心轴上よりずれて g置されるようにしてもよい。また、各基準ピン 5 a, 5 b, 5 eは、夫々、上記直交関係を保持する限りにおいて独立して上 S各支持体に対して移動調整可能としてもよい。すなわち、ワーク 1 7の大きさに ¾じて各基準ピン 5の間隔を調整するようにしてもよい。
[0027] 上記基準ピン支持郞材 4を Y方向及び 0方向に夫々 S勖する上圮第 2駆動装 S及ぴ上 S第 3 E動装 gは次のように構成される。すなわち、第 .第 3駆動装置は一対の E動機構により兼用され、一方の S動機構は上記基準ピン支持郎材 4の回転轴 Aを含む Y方向沿いに支持郎材 4を移動させる一方、他の動機構は回転轴 Aを含まない Y方向沿いに支持郞材 4を移動させるように構成して、両方の E 動機構の駆動量を同一にすることにより、支持郎材 4を全体'として Y方向沿いに前後動させ、甬方の駆動機構の ¾動量を異ならせることにより、支持郯材を 0方向に回転させるようにしている。上記両方の S動接構の具体的構成は同一のものであるため、いずれか一方についてのみ以下説明する。
[0028] すなわち、第 1図に示すように、上 SS第 1支持体 4 a及ぴ上記第 2支持体 4 bの下面には回転軸支持郎材 2 1 , 2 1を夫々介してスラィド装 S3 a, 3 bを備える。上記第 1支持体側の回転袖支持郎材 2 1は、第 1支持体 4aの回転轴 Bを支持し、第 2支持体側の回転軸支持部材 2 1は上記回転軸 Aを支持し、この回転轴 B, Aも夫々 Y 方向沿いに移勐させて、第 1支持体 4 a.第 2支持体 4 bを同方向に移動さ^る。上記各回転袖支持郎材 2 1は、第 2 , 8図に示すように、その一端とベースブレート 2の係止端 2 cとの藺に圧铕パネ 2 0を介在させて、常時、上記回転轴亥持郎材 2 1を後述するマイク口メータヘド 23の回転轴 2 3 aに押圧接触させる。上妃回転轴支持郞材 2 1 , 2 1の下面に取り付けられた上記スライド装置 3 a, 3 bは同一構造のものであり、第 9図に示すように、上部 2 2と下茚 2 8との閭に、一対のレール 29 , 2 9藺にボール 3 0も回転自在に挟み込んだ送り Φを 2組内珐してなる公知のスライド装 gであつて、第 8図に示すように、上記上郎 2 2を上記回転軸支持郎材 2 1 及び回転袖 B, Aを介して支持体 4a，4bに固定する一方、下郎 2 8 を上記ベースブレート 2の上面に固定する。上 gSベ一スプレート 2 には、 Y方向沿いに、第 1支持体 4 aに対しては第 1パルスモータ 2 7が、第 2支持体 4 bに対しては第 2パルスモータ 2 6が夫々支持され、この各パルスモータ 2 7 . 2 6の各回転轴にギヤ 2 5が固定され、このギヤ 2 5に ¾合するギヤ 2 4がマイクロメ一夕ヘッド
[0029] 2 3の回転轴 2 3 aに固定される。この回転轴 2 3 aが回転すると、該回転轴 2 3 aが轴方向沿いに前後勖して上 S回転軸支持郞材 2 1 をスライド装置 3 a, 3 bの上部 2 2と一体的にその下茚 2 8に対して前後動させ、基準ピン支持郎材 4を夫々 Y方向沿いに移動させる。
[0030] また、上記付勢装 Sは、ワーク 1 7を上記各基準ピン 5に接触させるように付勢させるものであって、第 2図に示すように、上記第
[0031] 1基準ビン 5 a及び第 2基準ピン 5 bに夫々 Y方向沿いに対向して第
[0032] 1 ブヅシヤーピン 3 5 a及び第 2 プづシヤーピン 3 5 bを Y方向に移動可能に上記ワーク載 gテーブル 1 2に夫々支持し、第 3基準ピン
[0033] 5 cに X方向沿いに対向して第 3プッシヤーピン 3 5 cを X'方向汾ぃに移動可能に上記ワーク載置テーブル 1 2に支持する。また、各ブッシヤーピン 3 5に対してこれを基準ピン側に移動させる駆動装 S 3 6を備える。各駆動装 3 6は、第 1 0図にも示すように、ワーク載 fiテーブル 1 2の下面にブラケヅト 1 2 fも介してエアシリンダ 3 7が支持され、このエアシ.リンダ 3 7のピストンロッド 3 7 aの先端に;/ジシヤーピン 3 5を支持する支持 Φ 3 7 bを固定して、ヮーク 1 7をワーク載置テーブル 1 2上に戦 gしたのち、各エアシリンダ 3 7を駆動して、ブッシヤーピン 3 5をワーク 1 7の端郞に接蝕させて各基準ピン 5に向けてワーク 1 7を押圧し、ブ；；シャーピン 3 5と基準ビン 5との間でワーク 1 7を保持する。なお、各基準ビン 5と各ブッシヤーピン 3 5とは必ずしも対向きせる必要はなく、任意の位 gにブッシヤーピン 3 5を配 Sして上記作用も行わせるようにしてもよい。なお、第 2図には、第 3ブッシヤービン 3 .5 cのエアシリンダ 3 7は省略されているが、他のエアシリンダ 3 7と同一の構造 ·機能を持つものである。さらに、上記位置决めテーブルは、ワーク 1 7に付されたレジスターマーク 1 7a, 1 7bを検出する検出手段としてのテレビカメラ 4 Oa.4 Obを備えるとともに、この検出結果とワーク 1 7の所望の位置とのずれ量を演算する演箅手段としてさらに上記各モータ 1 3.2 6.2 7の駆動制御を行う制御手段としてのマイクロコンビュータ 4 1を備える。上記マーク 1 7a, 1 7bは、例えば、ワーク 1 7としてガラス扳を使用する場合には、このガラス扳に印刷するなどして形成する。
[0034] 上記構成によれば、ワーク 1 7をワーク载 gテーブル 1 2上に載瑟し、エアシリンダ 3 7 , 3 7 , 3 7を駆動してプッシヤービン 3 5 a, 3 5 b, 3 5 cをワーク 1 7に接させて、該ワーク 1 7を上記各基準ピン 5a, 5b, 5cに確実に接蝕させる。その後、上記テレビ力メラ 4 0 a, 4 0 bによりワーク 1 7のレジスターマーク 1 7 a.1 7b の位 Sを夫々検出して、ワーク 1 7の現在の位置を検出し、そのデータをマイクロコンピュータ 4 1に入力する。そして、該マイク σ コンピュータ 4 1内で現在の位置と所望の位爨とのずれ量を演算して、 X方向、 Y方向及び 0方向の各ずれ量を無くすように各モータ 1 3 , 2 7 , 26に指令信号を出力して各モータを駆勡制御する。すなわち、まず、ワーク 1 7の 0方向の位置を绸整するため、上 gS第 1パルスモータ 2 7及び第 2パルスモータ 2 6を夫々異なる駆勐量だけ駆動して、マイクロメータヘッド 23 , 23、回転軸支持郎材
[0035] 2 1 , 2 1、回転轴 B, Aなどを介して第 1 ,第 2スライド装置 3 a,
[0036] 3 bの案内により第 1支持体 4 aと第 2支持体 4 bとも夫々 Y方向沿いに前後動させ、上 β基準ピン支持部材 4を上記回転軸 Aの回りにずれ量に相当する所定角度だけ回転させる。このとき、第 2〜第 4 支持体 4 b, 4 c.4 d及ぴスライド郎材 7は、一体的に固定されているため、上記第 2支持体 4 bの移動すなわち上記回転軸 A及びその支持部材 2 1の移動とともに一体的に Y方向沿いに移動するとともに、上記第 2パルスモータ 2 6の駆動に伴う第 1支持体 4aの Y方向沿いの移勡により上記回転轴 Aの 0方向回りに一体的に回転する。これに対して、第 1支持体 4 aは、上記第 1パルスモータ 2 7の駆動により回転軸 B及びその支持茚犲 2 1 とともに Y方向沿いに移動する一方、上記第 2支持体等の回転轴 A回りの回転により、スライド茚材 7及ぴ 4 cに対してスライドしながら回転軸 B回りに回転する。このスライド郎材 7に対.するスライド作用により、第 1支持体 4 aは上記他の支持体 4 b, 4 c , 4 dに対して無理なく連锆関係が保持される。上記第 1 ，第 2支持体等が異なる量だけ Y方向沿いに移動する锆果、上記ワーク 1 7が 0方向に回転され、その 0方向の位 g 闕整が行なわれる。次いで、上記 S動モータ 1 3を所定量だけ駆動して、ベースプレート 2全体を X方向沿いに前後動させて、ワーク 1 7の X方向沿いの位 g閾整を行う。次いで、上記第 1パルスモー夕 2 7及び第 2パルスモータ 2 6を同一の E動量だけ S動して、回転釉 B . Aをすなわち基準ピン支持郎材 4とともにワーク 1 7を同一量だけ Y方向沿いに前後動させて、ワーク 1 7の Y方向沿いの位橐調整を行う。この桔果、ワーク 1 7のマーク 1 7 a , 1 7 bが所望の位に位 Sしておれば、位置決め作業を終了し、もし、まだ、ヮーク 1 7が所望の位置に位橐していない場合には、所望のモータを躯動して位 g調整も行う。なお、上記ワーク 1 7ほ常時エアシリンダ 3 7 , 3 7 , 3 7により上記基準ビン 5に向けて押圧されているため、基準ピン 5が移動すると 'それに追随して移動する。
[0037] 上記夷施例によれば、 3つの上記基準ビン 5 a, 5 b, 5 cが上記基準ピン支持郞材 4に亥持され、かつ、所定の回耘轴 A回りに一体的に 0方向に移勐するようにしおので、各基準ピン 5を夫々 X方向または Y方向に移動させてもこれらの 3つの基準ビン 5 a, 5 b , 5 cは上記基準ビン支持邳材 4とともに一体的に各方向に移動し、かつ、ワーク 1 7を 0方向に移動させる場合には、上記斩定の回耘轴 A回りに必ず回転するため、ワーク 1 7の回転中心が固定され、従って、ワーク 1 7の位蒙調整をデータ化して行う場合、位置决め時藺を短縮することができる。また、ワーク載 gテーブル 1 2とベースブレート 2との大略 2届のテーブルより構成されるので、全体として小型で軽量で構造も簡単なものとなる。また、第 2図において右側に基準ピン等の駆動装 S等がほとんどなく、この茚分の空間を有効に利用することができる。
[0038] なお、本発明は上記実旌例に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、上記ワーク 1 7の位 S闞整作業は、上記 0方向の位置調整から始めるものに限定されず、 X方向または Y方向から始めてもよい。また、 Χ , Υ , 方向を同時に绸整するようにしてもよい。また、上記第 2駆動装 gと第 3 ©勐装 Sは、一対の駆動機椽によりこれの機能を兼用させるようにしたが、夫々别々に構成してもよい。すなわち、例えば、第 2駆動装犟は上記回転轴 Aを Y方向沿いに移動する駆動機構より構成し、上記第 3駆動装置は、上記回転轴 Aを直接回転させる回転駆動機構または上記回転轴 Aを含まない Y方向沿いに基準ピン支持郎材 4を移動させる駆動機構より構成するようにしてもよい。また、上記各駆動装肇の一部であるモータは上記パルスモータに限定されずサーボモータ等種々のモータでもよいとともに、モータに限定されず、公知め駆動郞材を使用することもできる。また、上記マイクロメータへッドの代わりにボールネジ等を使用してもよい。
[0039] 本発明は、添付図面に閼して好ましい実施例に関連して十分に記載されているが、その技術の熟練した人々にとつては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した猜求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

权利要求:
Claims請求の範囲
(1 ) ワーク（1 7)を載 gするワーク載 gテーブル（12)と、上記ワーク載瑟テーブル（12)の下方に X方向に移動可能に支持されたベースプレート（2)と、
上記ベースプレート（2)を. X方向に移動させる第 1S動装 g(l 3 , 1 0 , 1 5)と、
上記ワーク .敏¾テーブル（12)の上記ワーク（17)に夫々当接可能な第 i基準部材（5a)と第 2基準 φ材（5b)と第 3基準郎材（5c) 上記第 1基準郎材（5 a)と上記第 2基準邳材（5 b)とを所定間隔をあけて支持するとともに、上記第 1基準郎材（5 a)と上記第 2基準 Φ材（5 b)とのお列方向と直交する方向^いに上記第 2基準邳材（5 b)とほ斩定閻隔をあけ上記第 3基準 «5材（ 5 c)を支持する一方、上記 Y方向及ぴ所定の軸（A)回りの 0方向に夫々移動可能に上記べ一スブレート（2)に取り付けられた基準 ¾5材支持茚材（4)と、上記基準邵材支持郞材（4)を上記 Y方向に移動させる第 2駆動装置（26 , 2 7 , 23 , 20)と、
上記基準郎材支持郎材（4 )を上記 0方向に移動させる第 3駆動装 £(26 , 27 , 23 , 20)と、
上 βワーク（ 1 7 )を上 S第.1基準郎材（ 5 a)と上記第 2基準郎材（ 5 b)と上笫 3基準郎材（5 c)とに接胜させるように付勢する付勢装橐と、
上記ヮク（1 7)に付された位置绸整用マーク（1 7a, 1 7b)を検出するマーク検出手段（4 Oa.4 Ob)と、
上 ϋ挨出手段（4 0a,4 01))©抉¾拮呆と、上記ークく 1 7 a, 1 7 b)を位置させるぺき斩望の位 gとの間のずれ量を演算する演算手段 (4 と、
上記癍»手段（4 1)の演算桔果に基づき、上記マーク（1 7a, 1 7b)を上記所望の位 gに位罱させるべく、上記第 1駆動装輦（1 3·, 1 0.1 5)、上記第 2駆動装 g(26.27 ,23.20 )及び上記第 3駆動装 g(26.27,23.20 )を夫々駆勖 *制御する制御手段（4 1 )とを備えたことを特徵とするワーク位 g決めテーブル。
(2) 上記第 2駆動装 g(26.27.23 ,20)と上記第3¾勖装置（26 ,27,23.20)は、上記 Y方向に上記基準茚材支持茚材（4 )を移動させる一対の駆動接構よりなり、両方の駆動機構の駆動量を一にして上記基準茚材支持 $材（4)を上記 Y方向に移動させる一方、上記両方の駆動機構の駆動量を異ならせることにより上記基準 Φ材支持郐材（4)も上 S所定の軸（A)回りに上記 0方向に回転させるようにした請求項 1に記載の位暈決めテーブル。
(3) 各基準郎材（5)は、上記基準郎材支持 Φ材（4)に対して移動調整可能な請求項 1に記載の位置決めテーブル。

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